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PRODUCT FEATURES
产品特点
处理气体流量大
功率范围 10kW-24kW,处理气体流量最大可达 90SLM
高解离率
可高效解离 H₂、NF₃等制程气体,并实现低颗粒物
应用工艺
主要应用工艺:清洗、薄膜沉积